Espectrômetro de mobilidade iônica AMC AirSentry® II

de processopara análisede medição

O Sistema de Monitoramento Multiponto AirSentry II é o mais avançado monitor de contaminação molecular no ar (AMC) disponível. Ele utiliza espectrometria de mobilidade iônica sensível e reativa para detectar e caracterizar a contaminação molecular no ar a partir de vários locais dentro de uma sala limpa. Ele possui um sistema de amostragem por tubo de distribuição de 16 ou 30 pontos e um computador integrado com software e comunicações seguros. Nas modernas áreas de fabricação em sala limpa, as ferramentas de processos são muitas vezes distribuídas por grandes áreas de sala limpa e vários andares. Equipamentos de tratamento de ar recirculam a maior parte do ar dentro de uma sala limpa, o que pode facilmente espalhar contaminação molecular para áreas indesejadas, impactando negativamente as etapas do processo localizadas longe das reais fontes de contaminação. O Sistema de Monitoramento de AMC AirSentry II fornece uma estação de monitoramento central e de baixo custo que permite a detecção rápida da contaminação, além de sequências de monitoramento para cobrir um grande número de pontos de amostragem distribuídos por uma instalação. Essa é uma parte vital de um programa estratégico de monitoramento de AMC. Detalhes do produto Deb Casher, engenheira de processos de limpeza da Excelitas, e Isidro Sanchez, gerente de linha de produtos da Particle Measuring Systems (PMS), conversam com Blu Buquoy sobre o monitoramento AMC usando o AirSentry II na Excelitas.