Sistema de monitoramento para sala limpa ADPC 302

do ambiente

O ADPC 302 é um sistema único de gerenciamento de contaminação em processo para o monitoramento da contaminação por partículas na indústria de semicondutores. Monitoramento eficiente de partículas As partículas submicrómicas podem causar defeitos que podem levar a uma considerável perda de rendimento. Mesmo as menores partículas com 0,1 µm podem danificar a estrutura dos chips semicondutores. O inovador ADPC 302 mede o número de partículas nos transportadores de wafer (Pote Unificado de Abertura Frontal, FOUP, e Caixa de Transporte de Abertura Frontal, FOSB). O processo patenteado totalmente automatizado localiza e conta as partículas das superfícies de transporte, incluindo a porta. Qualificado por fabricantes líderes, este sistema pode ser usado tanto para a produção em série como para a análise de P&D. As principais aplicações são a caracterização do transportador, a otimização da estratégia de limpeza e a verificação da qualidade da limpeza. Vantagens O processo seco (Contador de Partículas Secas) do ADPC mostra claros benefícios em comparação com o método tradicional húmido (Contador de Partículas Líquidas). A principal vantagem do processo a seco é que a medição de partículas é completamente automatizada. Está integrado no processo de produção e, portanto, não requer tempo fora do período de produção. Graças à medição totalmente automatizada, o processo não requer um operador adicional. O tempo de teste é de apenas sete minutos, o que significa que o ADPC 302 é quatro vezes mais rápido do que os sistemas tradicionais. É possível testar oito caixas de transporte em uma hora.