Sistema de monitoramento para sala limpa APA 302

do ambiente

O APA 302 é uma ferramenta única de monitoramento em linha para a fabricação avançada de cavacos em ambiente de sala limpa. Este equipamento inovador mede a contaminação molecular transportada pelo ar (em resumo, AMC) em uma FOUP e no ambiente ao redor. A medição ocorre em tempo real com uma alta sensibilidade na faixa ppbv-range. Eficiente monitoramento de contaminação Umidade e Contaminação Molecular AMC (Airborne Molecular Contamination) como o flúor de hidrogênio (HF) são liberados no espaço FOUPs de fenda a fenda durante os tempos de fila. Estes elementos podem gerar crescimento de cristais em bolachas com padrão que levam à perda de rendimento e degradação do desempenho. O APA 302 by Pfeiffer Vacuum está recolhendo amostras do AMC através dos filtros FOUP. A medição ocorre em 2 mn com alta sensibilidade na faixa de ppb através de espectroscopia de mobilidade iônica, detecção de ionização de chama, fluorescência UV ou espectroscopia de cavidade ring-down. Quando não há FOUP nas portas de carga, a APA 302 monitora o ambiente da sala limpa ao redor. Análise fiável do ambiente FOUP A fim de garantir o desempenho, a APA 302 compatível com SEMI S2/S8 está equipada com uma função de auto-calibração, que é activada em intervalos regulares. O monitoramento do AMC dentro do APA pode ser executado em PODs com ou sem wafers. Os FOUPs podem ser entregues manualmente ou através do transporte de talhas aéreas (OHT) nos 2 portos de carga. Assim, os tempos de fila entre as etapas individuais do processo podem ser otimizados, os valores de contaminação imediatamente reconhecidos e os rendimentos aumentados.