Sistema de monitoramento para sala limpa APR 4300

do ambiente

O APR 4300 descontamina bolachas de 300 mm e suas caixas de transporte (FOUPs) a nível molecular e as protege durante o tempo de fila. Descontaminação fiável e protecção contra a contaminação O APR é um sistema para a descontaminação de bolachas e a protecção durante o tempo de fila. A Contaminação Molecular Aérea (em resumo, AMC) reduz o rendimento e a qualidade na produção de semicondutores. O APR impede efetivamente a adsorção de moléculas orgânicas ou inorgânicas contaminadas na superfície de uma bolacha e da caixa de transporte. Através da evacuação de câmaras na RPA, a probabilidade de adsorção é reduzida maciçamente. O rendimento de uma fabricação pode ser aumentado significativamente desta forma e os tempos de fila entre as etapas individuais do processo podem ser otimizados. Como funciona a RPA? O FOUP pode ser entregue manualmente ou através do transporte de talhas aéreas (OHT) nos dois portos de carga. O APR é um sistema com quatro câmaras de vácuo empilhadas para a descontaminação de wafers e FOUPs, que é servido por um robô confiável. Todas as câmaras estão equipadas com uma estação de bombeamento de vácuo, uma caixa de gás, um painel de operação e um controle com alimentação elétrica. As câmaras podem ser operadas individualmente. Depois de carregar a câmara com um FOUP contendo bolachas, a pressão na câmara é reduzida a < 0,1 mbar. Em seguida, é aplicado o processo de descontaminação. Depois disto, a câmara é purgada com nitrogênio limpo e devolvida à pressão atmosférica. As hóstias e a caixa de transporte estão agora protegidas de contaminação por mais de um dia.