Sistema de monitoramento de contaminação molecular pelo ar ambiente AMPC

para sala limpaem tempo realmultipontos

A AMPC é a solução ideal para a monitorização de salas limpas e módulos frontais de equipamentos (EFEM). A contaminação molecular transportada pelo ar (AMC) na fabricação de circuitos integrados é conhecida como o principal fator de perda de rendimento. Para controlar e entender de onde vem a contaminação, a Pfeiffer Vacuum traz agora uma solução única para o mercado de semicondutores para monitorar salas limpas, assim como o EFEM (Equipment Front End Module). Benefício para o cliente - Medição de compostos em tempo real (ácidos, bases, compostos orgânicos) - Software inovador para gerir a prioridade das linhas de amostragem, verificação de qualidade (QC) e alarmes - 96 linhas de amostragem reunidas em uma ferramenta (até oito analisadores) - Alto rendimento (análise e limpeza em três minutos) - Sem contaminação cruzada de uma linha de amostragem para outra A AMPC reúne os analisadores mais avançados para detectar e quantificar ácidos, bases e compostos orgânicos em até 96 locais num fabuloso, graças a um design inovador e integrado de válvulas. A gama AMPC inclui duas ferramentas: AMPC S e AMPC L onde as dimensões externas, número de linhas e opções são diferentes Além disso, a AMPC Extension Frame fornece 39 U de espaço para analisadores extras. Ele pode ser usado para atualizações de unidades AMPC existentes ou adicionado a novas unidades AMPC S e AMPC L.