Sistema de imagem molecular

Sistemas de câmaras de vácuo UV / EUV e In Vacuum As câmeras EUV e VUV oferecem alta resolução, alta faixa dinâmica e boa resolução temporal. As câmeras EUV e VUV fornecem alta resolução (normalmente até menos de 10 mícrons), alta faixa dinâmica (12 a 16 bits), bem como boa resolução temporal (até a faixa de microssegundos) que são necessárias para fontes EUV de descarga de plasma pulsado modernas. A câmera pode adquirir imagens de disparo único ou sincronizadas de disparo múltiplo em até 13 fps com resolução total a partir de uma fonte EUV nativa sem sofrer de artefatos hemorrágicos. As versões flangeadas e/ou em vácuo estão disponíveis dependendo da flexibilidade necessária para a caracterização e inspeção da máscara/resistência/fonte/óptica. A resposta de sensibilidade pode ser estendida de 13.5nm até 0,0135nm se a câmera for usada para detectar múltiplas linhas características. O arrefecimento profundo permite uma corrente escura muito baixa até menos de 0,005 electrões/pixel/seg. para uma exposição prolongada, caso um sinal muito fraco exija longos períodos de integração.