Mesa de coordenadas Z P-58 series

de inclinaçãopiezoelétricade 1 eixo

Alta Dinâmica com Grande Abertura - Cinemática paralela para tempos de resposta mais rápidos e maior precisão multieixo - Sistema de guia de flexão de alta precisão, de jogo zero - Vida útil excepcional devido aos actuadores piezoeléctricos PICMA® - Abertura livre 66 mm × 66 mm - A mais alta linearidade devido aos sensores capacitivos - Metrologia - Interferometria - Fotónica / óptica integrada - Litografia - Nanoposicionamento - Microscopia de digitalização - Alinhamento de amostras - Micromaquinagem Resolução do subnanómetro com sensores capacitivos Os sensores capacitivos medem com resolução subnanométrica sem contacto. Garantem excelente linearidade de movimento, estabilidade a longo prazo, e uma largura de banda na gama de kHz. Configuração automática e troca rápida de componentes Mecânica e controladores podem ser combinados conforme necessário e trocados rapidamente. Todos os parâmetros de servo e linearização são armazenados no chip de identificação do conector D-sub da mecânica. A função de autocalibragem dos controladores digitais utiliza estes dados cada vez que o controlador é ligado. Vida útil extraordinária graças aos actuadores piezoeléctricos PICMA® Os actuadores piezoeléctricos patenteados PICMA® são isolados com cerâmica pura. Isto protege-os contra humidade e falhas resultantes de um aumento da corrente de fuga. Os actuadores PICMA® oferecem uma vida útil até dez vezes mais longa do que os actuadores convencionais isolados com polímero. estão provados 100 mil milhões de ciclos sem uma única avaria.