- Gama de deslocação 100 µm, 400 µm ou 800 µm
- Resposta significativamente mais rápida e vida útil mais longa do que as unidades motorizadas
- Posicionamento fino de objectivas com resolução sub-nm
- Medição direta da posição com sensores capacitivos: A mais alta linearidade
- Compatível com o software de imagem Metamorph®
- Grande abertura clara com Ø 29 mm
- Imagem 3D
- Rastreio
- Interferometria
- Tecnologia de medição
- Sistemas de focagem automática
- Biotecnologia
- Inspeção de semicondutores
Vida útil excecional devido aos actuadores piezoeléctricos PICMA®
Os actuadores piezoeléctricos PICMA® são isolados totalmente em cerâmica. Isto protege-os contra a humidade e as falhas resultantes de um aumento da corrente de fuga. Os actuadores PICMA® oferecem uma vida útil até dez vezes superior à dos actuadores convencionais com isolamento de polímero. estão comprovados 100 mil milhões de ciclos sem uma única falha.
Resolução subnanométrica com sensores capacitivos
Os sensores capacitivos medem com resolução subnanométrica sem contacto. Garantem uma excelente linearidade de movimento, estabilidade a longo prazo e uma largura de banda na gama dos kHz.
Elevada precisão de orientação devido a guias de flexão de folga zero
As guias de flexão estão isentas de manutenção, fricção e desgaste, e não necessitam de lubrificação. A sua rigidez permite uma elevada capacidade de carga e são insensíveis a choques e vibrações. Funcionam numa vasta gama de temperaturas.
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