Mesa de coordenadas com mancais aerostáticos A-523.25005B3

Zde inclinaçãomotorizada

Alto desempenho - Compatível com salas limpas - Perfil baixo - Gama de rotação em θX, θY a ±1° - Diâmetro da plataforma 250 mm - Altura total 60 mm A-523 é um estágio de ponta/tilt de rolamento de ar Z com transmissão directa. Concebida como um sistema paralelo-cinemático multi-eixo, a plataforma pode ser utilizada para o movimento Z e ponta/tampas. Esta fase oferece ultra-precisão em formato miniatura. A combinação dos componentes sem contacto resulta numa plataforma de movimento sem fricção que oferece um desempenho, qualidade e durabilidade de topo. Quando a A-523 é encomendada juntamente com um controlador da série A-81x ou A-82x, a PI executa a configuração e a cablagem do estágio Z com optimização da afinação do servo aplicado e sob carga aplicada. Recebe um sistema de posicionamento completo e pronto a usar. Acessórios e opções - Conjuntos de filtros de ar - Mecanismo de aperto a vácuo incorporado Campos de aplicação A fase de ponta/tilt é ideal para aplicações de alta precisão, tais como inspecção de wafer, posicionamento de fibra, posicionamento óptico, inspecção de ecrã plano, litografia sem máscara, e fabrico de ultra-LED. O desenho sem contacto é ideal para aplicações em salas limpas.