o tamanho dos substratos ou a velocidade de processo necessária.
Dimensões: -
L: 1050mm W: 800mm H: 2020mm
Peso: -
195 KG
Volume: -
140/160/300 Literatura
Câmara de processo: -
alumínio, L: 400mm W: 480mm H: 520mm
Saída de micro-ondas: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Inclusivo: -
1 canal de gás (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo), até 3 canais disponíveis
Suporte do substrato (opcional): -
alumínio, desenho personalizado possível
Ligação por vácuo: -
DN 63 ISO-KF
Ventilação: -
válvula electromagnética solenóide
Sistema de bombeamento: -
até 250m³/h (integrado)
Porta da câmara: -
pode escolher entre tipo articulado com porta de visualização, porta de gaveta ou porta universal
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