Este é o sistema Parylene. É um sistema modular dividido em duas partes: módulo de câmara e módulo de evaporador.
Dimensões: -
L: 2400mm W: 960 H: 1460mm
Peso: -
~ 350 KG
Volume: -
600 / 700 Litros
Câmara de processo: -
800mm Ø H: 1100mm (600 Litros) / 1300mm (700 Litros)
Fonte de plasma: -
2,45GHz, 1200 Watt
Inclusivo: -
1 canal de gás (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo), até 3 canais possíveis
Sistema de arrefecimento: -
8 litros (electromecânico Cool-trap)
Ligação por vácuo: -
DIN 63 ISO-KF
Ventilação: -
válvula electromagnética solenóide
Sistema de bombeamento: -
75m³/h
Ligação eléctrica: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, máx. 8.5 KW
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