Este é o sistema Parylene. É um sistema modular dividido em duas partes: módulo de câmara e módulo de evaporador.
Dimensões: -
L: 2600mm W: 960 H: 1460mm
Peso: -
~ 450 KG
Volume: -
800 / 1000 litros
Câmara de processo: -
1150mm Ø H: 600mm (800 Litros), 1000mm Ø H: 1100
Fonte de plasma: -
2,45GHz, 1200 Watt
Inclusivo: -
1 canal de gás (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo), até 3 canais possíveis
Sistema de arrefecimento: -
8 litros (electromecânico Cool-trap)
Ligação por vácuo: -
DIN 63 ISO-KF
Ventilação: -
válvula electromagnética solenóide
Sistema de bombeamento: -
75m³/h
Ligação eléctrica: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, máx. 8.5 KW
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