Desenvolvido para aplicações que têm de ser executadas em salas limpas.
Montagem modular e tamanhos de câmara variáveis.
Inúmeras opções como mesas giratórias ou diferentes suportes para substratos.
O carregamento da câmara de processo tem lugar a partir da sala limpa.
Descarga através da porta da câmara de ar na sala cinzenta.
Dimensões: -
L: 2095mm W: 800 H: 1450mm
Peso: -
~ 300 KG
Volume: -
140 / 200 / 300 litros
Câmara de processo: -
500mm Ø H: 700mm (140 Litros), 600mm Ø / H: 700mm (200 Litros), 700mm Ø, H: 800mm (300 Litros)
Fonte de plasma: -
2,45GHz, 1200 Watt
Inclusivo: -
1 canal de gás (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo), até 3 canais possíveis
Sistema de arrefecimento: -
8 litros (electromecânico Cool-trap)
Ligação por vácuo: -
DIN 40 ISO-KF
Ventilação: -
válvula electromagnética solenóide
Sistema de bombeamento: -
75m³/h
Ligação eléctrica: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, máx. 8.5 KW
---