Sistema de aplicação de revestimento a vácuo

Um sistema robótico, multi-câmaras para os processos de revestimento mais complexos num ambiente de baixa pressão. Dimensões: - L: 2000mm W: 1800mm H: 2000mm Peso: - ~ 320 KG Volume: - 50 litros 3 câmaras de processo: - VA L:300 W:300 H:300 Fonte de plasma: - 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt Inclusivo: - canais de gás 3x3 (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo) Além disso: - robô da comporta de ar, exemplo de suporte de substrato para comporta de ar Suporte do substrato (opcional): - Alumínio, possível desenho personalizado Ligação por vácuo: - DN 63 ISO-KF Ventilação: - válvula electromagnética solenóide 3 Sistemas de bombeamento: - 40m³/h Porta da câmara: - Portas da câmara de manutenção