Microscópio óptico MSA-650 IRIS

de mediçãoautomáticoem tempo real

Caracterização ótica da dinâmica no interior de MEMS revestidos a Si A caraterização dinâmica de dispositivos MEMS para medir e visualizar a resposta mecânica é importante para o desenvolvimento de produtos, resolução de problemas e validação de modelos FE. Os analisadores de micro sistemas MSA da Polytec fornecem medições ópticas rápidas e precisas de movimentos fora do plano (OOP) e no plano (IP). Até à data, estas medições estavam limitadas a dispositivos não embalados e acessíveis por via ótica. Atualmente, o analisador de micro sistemas Polytec MSA-650 IRIS permite efetuar medições mesmo através de tampas de silicone intactas em microestruturas encapsuladas como, por exemplo, sensores de inércia, microfones MEMS, sensores de pressão e outros. Capacidade de IR para medir a dinâmica MEMS através de diferentes camadas de dispositivos revestidos a Si Medição em tempo real da resposta fora do plano até 25 MHz (sem pós-processamento) Resolução de deslocamento fora do plano inferior a um picómetro Validação direta do modelo FE do MEMS no estado final Separação superior das camadas individuais do dispositivo Microscópio de vídeo estroboscópico para medir o movimento no plano até 2,5 MHz Sistema automatizado que se integra bem na produção (compatibilidade com a estação de sondas)