Microscópio óptico MSA-600

de mediçãopara MEMSem tempo real

Medição da resposta dinâmica e da topografia de MEMS e microestruturas A topografia de superfícies e a análise e visualização de movimentos dinâmicos são fundamentais para testar e desenvolver microestruturas, tais como dispositivos MEMS (Sistemas Micro-Electro-Mecânicos). São indispensáveis para validar cálculos de FE, determinar efeitos de cross-talk e medir a deformação da superfície. O MSA-600 Micro System Analyzer é a estação de trabalho de medição ótica tudo-em-um para caraterizar a topografia da superfície, bem como os movimentos no plano e fora do plano. As versões MSA-600-M/V abrangem gamas de frequência até 25 MHz, sendo ideais para MEMS, microfones MEMS e outros microssistemas. As versões MSA-600-X/U cobrem a gama de frequências altas e muito altas até 2,5 GHz, perfeitas para a avaliação de ressonadores MEMS HF, dispositivos microacústicos como SAW, BAW e outros. PREMIERE: A MSA-600-S é a estação de trabalho de medição ótica especializada concebida para análise de vibrações em tempo real a 6 GHz e análise de topografia de superfícies. Ideal para testar MEMS de GHz como FBAR (ressonadores acústicos de película), filtros BAW (onda acústica de massa) e dispositivos SAW (onda acústica de superfície).