medição de vibrações 3D para MEMS e microssistemas
As vibrações dos objectos reais são normalmente tridimensionais. Embora seja possível indicar direcções preferenciais, as tolerâncias de produção e outras influências conduzem a componentes de movimento noutras direcções espaciais. Pode utilizar o analisador de micro sistemas MSA-100-3D para analisar o comportamento dinâmico da sua amostra de uma forma integrada, numa ampla largura de banda e em tempo real. Os componentes de vibração em todas as três direcções espaciais são registados simultaneamente em alta resolução e são analisados como um registo de dados integrado. Obtém-se a resolução de amplitude sub-picómetro típica dos vibrómetros laser, independentemente da direção da vibração.
Medição de vibrações em tempo real com uma elevada largura de banda de até 25 MHz
Resolução de amplitude sub-picómetro para movimentos fora do plano e no plano
Medições de ponto único e de campo completo
O pequeno ponto laser de menos de 4 μm permite uma resolução lateral máxima
Grandes distâncias de afastamento de 38 mm
Compatível com estações de sondas MEMS comuns
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