“ Os produtos restritivos do fluxo (RFP) são orifícios restritivos do fluxo com uma única abertura ou limitadores de fluxo aglomerados do metal com centenas de pequeno, mícron fizeram sob medida corredor. Estes são fluxo que limita os dispositivos usados para impedir um fluxo descontrolado de gás do processo do semicondutor da pureza alta.
O fluxo que limita dispositivos é instalado em sistemas de abastecimento de gás comprimidos ou nos distribuidores da distribuição do gás para controlar um ponto alto do fluxo do gás. O fluxo alto involuntário do gás pode ser causado pela ruptura de uma linha de abastecimento de gás, de uma válvula funcionando mal ou da falha de um regulador de pressão.
Nosso Sinterflo® aglomerou limitadores de fluxo do metal é custo altamente confiável, baixo, as peças de controle do fluxo que fornecerão um retorno sobre o investimento rápido para uma escala de aplicações. Estes podem ser fabricados de 316L de aço inoxidável, de níquel, de Hastelloy® C22, de Hastelloy® C276 e de outros materiais do temperatura e os resistentes à corrosão.
Indústria do semicondutor, construção e conformidade do código de fogo
Os RFP podem ajudar na conformação com SEMI as diretrizes de segurança S5-0310 para fazer sob medida e identificar o fluxo que limita dispositivos para as válvulas do cilindro de gás, padrão de NFPA 318 para a proteção de facilidades da fabricação do semicondutor, de armazenamento de CGA G-13 e da manipulação do Silane e da outra segurança standards. \ /html do gás”
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