Filtro de gás GasPro ™ TEM-2260 series
de cartuchode processoem aço inoxidável

filtro de gás
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Características

Produto filtrado
de gás
Elemento filtrante
de cartucho
Aplicações
de processo
Material
em aço inoxidável, em PTFE
Outras características
de alta vazão, em linha
Tamanho de filtragem

0,003 µm

Descrição

Lançamento de novos produtos: GasPro ™ TEM-2260 Filtro em linha de alto fluxo PTFE 316L GasPro ™ Os filtros da série TEM-2260 são especificamente concebidos para a filtragem de gases semicondutores quando são necessários caudais ultra-altos. Este conjunto totalmente soldado proporciona uma retenção de partículas de 0,003 mícron onde é necessário um caudal elevado e o espaço é limitado. Uma membrana de PTFE e um cartucho de polipropileno suportado está encerrado em uma carcaça soldada de aço inoxidável 316L eletropolido. A montagem final é purgada com nitrogênio filtrado para a limpeza inicial. As aplicações incluem: - Geral e processar gases em instalações inertes. - Ar limpo e seco (CDA*) para processos críticos, incluindo a limpeza e fotolitografia da câmara unificada (FOUP) de abertura frontal. Veja a folha de dados para mais informações.

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