O Flying Spot Scanner (FSS) 310 combina de forma única a OCT com o varrimento de campo de visão alargado e resolve o problema de os sistemas de medição ultra-precisos serem normalmente muito lentos e extremamente dispendiosos.
O FSS 310 tem um ponto de medição flexível e de movimento rápido dentro do campo de visão que permite uma inspeção ROI em tempos de ciclo ultra-curtos - sem comprometer a precisão. Este dispositivo mede a variação total da espessura (TTV), a curvatura, a deformação e os vazios de uma pastilha inteira de 12 polegadas num único exame.
Vantagens
- Inspeção ROI de alta velocidade e sem contacto
Com uma enorme área de varrimento de 310 mm, o FSS 310 verifica uma bolacha de 12 polegadas quanto a TTV, curvatura, deformação e vazios em aplicações padrão em menos de 10 segundos, o que permite uma produção de mais de 300 bolachas por hora (incluindo o tempo de manuseamento). Graças ao sistema de varrimento incorporado, os longos percursos dos eixos lineares são substituídos por movimentos rotativos curtos, o que reduz significativamente os tempos de medição e elimina a necessidade de um eixo de precisão.
- Facilidade de utilização
O FSS 310 e o sensor ótico CHRocodile 2 IT formam um pacote independente, que pode ser facilmente integrado em sistemas in- e offline. Para realizar um processo de varredura personalizado com o FSS 310, é necessária apenas uma conexão com o controlador CHRocodile 2 IT. As múltiplas interfaces de software e ferramentas permitem-lhe configurar facilmente a sua aplicação. A lista de tarefas de medição definidas é então armazenada no sensor ótico, que também controla a sonda antes de um software visualizar os resultados.
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