O scanner é uma combinação de óptica e sistema de movimento. Dois espelhos giratórios deflectem o feixe laser em direcção x e y. Com a pequena massa e inércia dos espelhos móveis, são possíveis velocidades elevadas de vários metros por segundo, permitindo um tipo de processo quase-simultâneo com múltiplos ciclos de contorno por segundo. A lente de focalização final (f-teta) determina o tamanho da área de trabalho, que pode medir 100 x 100 mm, 240 x 240 mm, ou 350 x 350 mm.