Analisador de CO VeraSpec™ APIMS-SX5

de gásde CH4de água

Os fabricantes de semicondutores precisam de ter a capacidade de verificar continuamente a pureza dos gases de processo em tempo real e detetar vestígios de contaminação em concentrações na ordem das partes por trilião (ppt). Monitorize uma vasta gama de gases e misturas de gases com a estabilidade que proporciona a repetibilidade a longo prazo exigida na maioria das aplicações. Pergunte sobre as nossas capacidades APIMS SX5 com Stream Switcher. -Comutação de fluxo elegante para monitorizar gases a granel de pureza ultra elevada Monitorização em tempo real de várias espécies para TODOS os gases críticos Impurezas em gases electrónicos a granel, incluindo vestígios de O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar e muito mais - NOVO! Capacidade opcional de comutação automática de fluxo com o armário de gás comutador de fluxo SX5. Alterne automaticamente entre até cinco gases a granel! - Faixa de medição incomparável de PPT a 100% com configuração exclusiva de ionização de fonte dupla - Fácil de utilizar com interface de utilizador integrada e calibrações automáticas programadas - A melhor equipa de apoio ao cliente e de aplicações da indústria