Analisador de gás TIGER OPTICS™ T-I MAX™

de hidrogêniode cloretode monitoramento

ANALISADOR DE GASES VESTIGIAIS DE CLORETO DE HIDROGÉNIO DE NOVA GERAÇÃO Pode passar muito tempo "à procura" de Contaminantes Moleculares Aerotransportados (AMCs) quando o desempenho catastrófico do produto ou a perda de rendimento são descobertos na fase de teste final do seu dispositivo; ou pode utilizar o nosso analisador TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl para localizar e monitorizar estes geradores de defeitos invisíveis, normalmente encontrados à espreita dentro e à volta do equipamento, do pessoal, dos transportadores de bolachas e dos compartimentos das salas limpas. No atual processamento avançado de semicondutores, os gases residuais, vapores e produtos químicos provenientes dos vários materiais, operações de processamento acelerado e armazenamento e transporte de substratos tornaram-se uma preocupação crítica. Tanto assim é que o Roteiro Internacional de Tecnologia para Semicondutores (ITRS) destaca agora a contaminação AMC como um desafio técnico fundamental para alcançar e manter baixas taxas de defeitos nos dispositivos. Com um foco particular nos principais contribuintes para o elemento "contaminação química" dos AMCs, os analisadores T-I Max HCl, baseados na nossa nova plataforma global, podem detetar e monitorizar continuamente o HCl com uma combinação sem precedentes de sensibilidade, seletividade e velocidade de resposta. O nosso GO-cart para AMCs acrescenta flexibilidade adicional ao fornecer uma plataforma móvel que pode ser rapidamente deslocada para diferentes pontos críticos de monitorização. BENEFÍCIOS Técnica de medição sensível e absoluta, utilizando a Espectroscopia de Cavidade Ring-Down (CRDS) Velocidade de resposta e limites de deteção de partes por trilião drasticamente melhorados Sem desvios, com calibração rastreável aos principais laboratórios de referência do mundo Custo de propriedade mais baixo - sem manutenção