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Sistema de limpeza para wafers de águaautomáticopara a indústria dos semicondutores
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Características
- Tecnologia
- de água
- Modo de funcionamento
- automático
- Aplicações
- para a indústria dos semicondutores, para wafers
Descrição
Os wafers limpos são a base para excelentes produtos semicondutores. O sistema de limpeza final RENA, totalmente automatizado, fornece superfícies da mais alta qualidade para a última etapa da produção de bolachas. Processos sofisticados e programação avançada fazem dele a solução perfeita para a produção de bolachas semicondutoras com elevado rendimento e requisitos exigentes.
Características e vantagens
Limpeza de superfície superior para bolachas até 300 mm
Manuseamento totalmente automatizado sem suporte ou com suporte LMC
Acabamento perfeito com o secador RENA Marangoni
Interfaces padrão SEMI para fácil integração na fábrica
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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.