Banco de ensaios por via úmida de imersão Evolution

de bateladaautomáticopara semicondutor

Evolution - bancada húmida totalmente automatizada para o fabrico de semicondutores, de seco a seco Para o processamento húmido de elevado rendimento de bolachas semicondutoras, a RENA oferece a "Evolution", uma bancada húmida linear totalmente automatizada. Podem ser efectuados vários processos de tratamento de superfícies, tais como limpeza, gravação, decapagem e secagem, utilizando a "Evolution". Esta estação química tem um design modular flexível com um robusto robot de transferência e pode ser personalizada de acordo com as suas sequências de processo específicas. A "Evolution" permite o processamento em lote de lotes de wafer simultâneos, bem como o processamento seco a seco. Alto rendimento de produção, baixo custo de operação e excelente controlo de processo são as principais características desta plataforma. Este controlo superior do processo é conseguido através do software IDX Flexware, um dos mais avançados na indústria de semicondutores, com características e capacidades únicas. Tanques de processo especializados, tais como TruEtch, FluidJet e SiEtch e tanques ultra-sónicos e megassónicos, bem como o secador patenteado Genesis Marangoni, podem ser integrados na "Evolution" para satisfazer as especificações de processo dos clientes. Todos os sistemas RENA são compatíveis com a interface SECS/GEM do anfitrião de fábrica. Características e vantagens Funcionamento totalmente automático, seco a seco tamanhos de wafer de 100 mm a 200 mm lotes de 25, 50 e 100 wafer Software de controlo IDX Flexware Lotes e receitas simultâneos Monitorização avançada do processo Ecrã tátil HMI integrado Opções de interface SECS/GEM Mini-ambiente Classe 1 Versão em aço inoxidável para aplicações com solventes Flexível e atualizável Adaptado às especificações do cliente Aumento do tempo de atividade e do rendimento Vida útil prolongada da química e do tanque