Banco de ensaios por via úmida de imersão Revolution

de bateladapara semicondutorpara wafers

Para processos químicos húmidos de semicondutores em várias etapas, a RENA oferece uma bancada húmida semi-automatizada flexível e compacta, a "Revolution". Esta plataforma consiste num robusto robô rotativo central integrado e até 5 tanques de processo localizados à volta do robô. A "Revolution" é a solução ideal, com uma pegada mínima e de baixo custo para aplicações que requerem uma sequência de processos em várias etapas. Permite o tratamento de superfícies de bolachas semicondutoras, incluindo gravação, limpeza e remoção de resistências, tanto em aplicações FEoL como BEoL. A "Revolution" proporciona um controlo e uma monitorização superiores do processo através da utilização do software IDX Flexware. O IDX Flexware oferece características e capacidades vantajosas. Com base nos requisitos do cliente, podem ser incorporadas nesta estação química configurações especializadas de tanques de processo, por exemplo, tanques patenteados de gravação de metal e de elevação de metal. Para processos secos a secos, podem ser integrados os secadores patenteados Genesis Marangoni. Todos os sistemas RENA são de fácil manutenção e estão em conformidade com a interface SECS/GEM do anfitrião de fábrica. Características e vantagens Capacidades de secagem a seco tamanhos de wafer de 100 mm a 200 mm Software de controlo IDX Flexware Sequências de várias etapas Múltiplas tecnologias proprietárias Ecrã tátil HMI Robô rotativo robusto Opções de interface SECS/GEM Mini-ambiente como opção Versão em aço inoxidável para aplicações com solventes Flexível e atualizável Adaptado às especificações do cliente Redução do uso de produtos químicos e água DI Custos de instalação mais baixos