Banco de ensaios por via úmida de imersão Advancer

de bateladapara semicondutorpara wafers

Para o processamento húmido de bolachas semicondutoras numa única etapa, a RENA oferece a família semi-automatizada "Advancer". Estes equipamentos de imersão são robustos, comprovados no terreno e altamente configuráveis, com uma área de ocupação extremamente reduzida. os "Advancers" são a solução ideal para processos de gravação, limpeza e decapagem de superfícies de semicondutores num único passo. A família "Advancer" é constituída por três plataformas: Micro, Classic e Gemini. O "Advancer Micro" e o "Advancer Classic" possuem um tanque de processo e um tanque de enxaguamento com robot linear lateral para processos de passo único. O "Advancer Gemini" é uma bancada húmida com dois processos e dois robôs e uma das plataformas mais económicas disponíveis. O "Advancer Gemini" pode ser utilizado para duplicar a capacidade de processamento ou para efetuar passos de processo sequenciais com uma área e um custo globais reduzidos. Os sistemas RENA proporcionam um excelente controlo e monitorização do processo utilizando o software IDX Flexware com características e capacidades vantajosas. Todos os sistemas RENA são de fácil manutenção e estão em conformidade com a interface SECS/GEM do anfitrião da fábrica. Características e vantagens Capacidade de secagem a seco Processo de passo único e design de enxaguamento Manuseamento de cassetes simples ou duplas tamanhos de wafer de 50mm a 200mm processamento de 150 e 200 mm sem alterações Software de controlo de processos IDX Flexware Ecrã tátil HMI intuitivo Robô de montagem lateral com elevada capacidade de manutenção Opções de interface SECS/GEM Flexível e atualizável Personalizado de acordo com as especificações do cliente