Sistema de limpeza de tratamento por via úmida Inception

com solventepor aspersãopor corrosão

O RENA Inception, o sistema compacto e semi-automatizado de processamento de bolacha única, é uma solução ideal para processos de limpeza química húmida, gravação e resistência. Esta plataforma permite a transição da I&D para a produção piloto no fabrico de semicondutores. O Inception pode ser utilizado para aplicações ácidas em FEoL, bem como para aplicações com solventes em BEoL. Proporciona uma uniformidade de gravação superior <= 1% dentro do wafer, de wafer para wafer e de lote para lote. O Inception consiste em braços de pulverização de movimento duplo com linhas químicas separadas que, em conjunto com a conceção de vários tanques, proporciona características de processamento em várias etapas. Está disponível uma variação de mandris para diferentes tamanhos de bolacha e substrato para permitir uma configuração fácil para diferentes aplicações. O software IDX Flexware da RENA oferece muitas características vantajosas para o controlo e monitorização do processo. Todos os sistemas RENA são compatíveis com a interface SECS/GEM do anfitrião de fábrica. Características e vantagens Wafers de até 200 mm e máscaras de até 7 x 7 A uniformidade de gravação excede os sistemas em lote Manuseamento manual ou automatizado de bolachas Porta de carga simples ou dupla tanque de processo químico de 2 a 4 Controlos de concentração hiper precisos (ABB, Horiba, CI Semi) Capacidade de pico de alta precisão (Chemical & DI) Compensação química automática para perdas Pegada pequena