Secador de isopropanol VaporDry

de bateladade lavagem a jatode limpeza

O RENA VaporDryer integra o processo de secagem IPA com a limpeza e o enxaguamento para proporcionar um processo num único passo. É uma solução ideal para deslocar a água de características de elevado rácio de aspeto e através de vias de silício (TSVs), bem como para a secagem eficaz de superfícies complexas. O VaporDry pode ser integrado nas plataformas de imersão em lote RENA. Este secador pode ser utilizado tanto em aplicações FEoL como BEoL. Todo o processo é monitorizado e controlado pelo avançado software de controlo de processos IDX Flexware da RENA. Características e vantagens Custo mais baixo em comparação com os secadores Marangoni redução de 85% no consumo de IPA em comparação com os secadores de vapor de poço de ebulição Desempenho robusto, fiável e comprovado no terreno Excelente desempenho de partículas (750 µm de profundidade) Pegada pequena