O sistema RENA EPA oferece soluções precisas e flexíveis para processos automatizados envolvidos na galvanoplastia. O seu design modular permite que os clientes ajustem rapidamente o sistema de acordo com estruturas de processo predefinidas ou novas. Facilita a galvanização automatizada de metais puros e ligas (Au, Ag, Cu, Sn, Ni, SnAg), bem como de vários metais de revestimento. Com um excelente fluxo de fluido e um controlo rigoroso do campo elétrico, o sistema RENA EPA proporciona uma galvanização uniforme a um ritmo elevado em processos automatizados.
Eficiência e precisão
O rendimento altamente escalável e a excelente uniformidade da galvanização são apenas duas das principais vantagens do sistema RENA EPA. As opções de controlo de precisão perfeita beneficiam uma grande variedade de aplicações tecnológicas de semicondutores e microssistemas, tais como a criação de revestimentos metálicos funcionais para MEMS, a microformação e moldagem de peças ultra-pequenas para microssistemas, a produção de componentes optoelectrónicos ou de bumping.
O sistema oferece aos clientes uma grande liberdade no que diz respeito ao tamanho e à geometria das bolachas, bem como opções de expansão com módulos de processo adicionais para tratamento, gravação e secagem.
Visão geral das vantagens do sistema RENA EPA
adequado para revestimento de metais puros e ligas (Au, Ag, Cu, Sn, Ni ou SnAg)
adequado para vários produtos químicos de revestimento
para wafers de 2", 4", 6", 8" e 12
suporta substratos quadrados e geometrias especiais de bolacha
processos de camada única e empilhada
sistema de ânodo inerte ou solúvel
grande variedade de espessuras de revestimento
baixa exclusão de bordas <= 3 mm
excelente fluxo de fluido
revestimento extremamente uniforme
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