Rendimento: 8000-16000 wafer/hora
Taxa de quebra: ≤0,02% (para bolachas de silício acima do tamanho M10)
Tempo de atividade: >98%
Caraterísticas:
Limpeza da parte traseira para células solares de alta eficiência TOPCon, BC, HJT
Remoção de PSG/BSG
Excelente uniformidade, longa duração do banho
Elevado rendimento, baixo teor de CoO
Mudança rápida de banho, mudança de banho em linha
Equipamento inteligente, estatísticas de consumo de energia e função de análise
Acabamento:
Adequado para bolachas de silício de 156-220 mm
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