Sistema de automação de produção RTA-PECVD-6000-16000

de processos

Capacidade de produção: 6000-16000 Taxa de rutura: ≤0,04%@166; 0,04%@182; 0,04%@210 Tempo de atividade: ≥99% Caraterísticas: Carregamento e descarregamento opcionais separados ou layout integrado Estrutura de aço soldada global segmentada, estrutura estável e fiável Remoção automática de detritos opcional Suporte para interface MES e função de depuração remota Interface IGV inteligente Equipamento inteligente, estatísticas OEE e análise do consumo de energia Bolachas compatíveis de M10, M12 e 220-230mm, tamanho completo e meio tamanho