Sistema de microagrupamento totalmente automatizado para estações de processo, por exemplo
Decapagem
Revestimento por rotação
Revelador
Levantamento
Placas quentes, frias e de primário
Cozedura UV
Tamanho máximo da bolacha: Ø 6"~ Ø 8" ((Ø 150 ~ Ø 200 mm)
Tamanho máx. do substrato: 6" x 6" (150 mm x 150 mm)
Design modular para até 6 estações de processamento`
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