Utilizado para a remoção e limpeza das bolachas de silício difundidas.
Fluxo do processo
Remoção do invólucro→Pós-limpeza→Limpeza com ácido→Pós-limpeza→Limpeza com ácido→Secagem com água quente→Secagem (para referência)
- Capacidade de produção: 400pcs/lote, 9600pcs/h (bolacha de 210 mm), 480pcs/lote, 12000pcs/h (bolacha de 182 mm).
- Várias tecnologias de aditivos disponíveis.
- Espessura da bolacha até 120μm.
- Com área de limpeza a seco e sistema de auto-limpeza.
- Mudança rápida de banho em linha.
- Disponível com MES, sistema RFID, teste de peso em linha opcional.
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