Purificador de gás com filtro PS3-MT3 Seriesde nitrogênio
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Características
- Tipo
- com filtro
- Outras características
- de nitrogênio
- Fluxo de ar
MÁX: 5 l/min
(1,3 us gal/min)MÍN: 0 l/min
(0 us gal/min)
Descrição
A pesquisa mostrou que a purificação do gás assegura o desempenho consistente e repetível do processo para a fabricação do dispositivo de semicondutor. O ponto da purificação do uso isola áreas de processo críticas dos sistemas de distribuição do gás da casa e protege-as contra viradas e contaminação colateral da pureza do gás.
Os purificador de MonoTorr fornecem a purificação essencial para o nitrogênio e gás raros no slpm até 5 dos caudais.
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