Sistema de manipulação automático SMZ-IV

modularem linhade wafer

Equipamento em linha, que pode ser integrado com um ou dois equipamentos PECVD de interface barco-barco e realizar o transporte de barco de grafite e carga e descarga de bolachas automaticamente. Este equipamento pode ser aplicado no processo antes e depois do processo PECVD, que pode carregar os wafers da cassete para o barco de grafite e transportar o barco preenchido para o equipamento PECVD ou transportar o barco processado para este equipamento e descarregar os wafers do barco de grafite para a cassete automaticamente. - Com design modular, que pode ser integrado em linha com um ou dois conjuntos de equipamento PECVD. - Com controlo por PC, operação por computador tablet, que é fácil e clara para a operação. - Deteção de microfissuras em linha, deteção da espessura da película, sistema de inspeção de cores e tratamento automático de bolachas NG (necessita de custos adicionais). - Configuração em linha/fora de linha. - Compatível com AGV, sistema RFID, função MES opcional.