Máquina de deposição PECVD PD-52 series

solar

Usado principalmente para gerar revestimentos anti-reflexo da mais alta qualidade na produção de células solares de silício cristalino, e para a deposição de película de passivação no lado posterior das células solares. Barco de grafite & wafers ready→ Nitrogênio inlet→ Carga do barco de grafite in→ Aspirar, teste de pressão →Ammonia pré-limpeza e check→ Aspirar o tubo, verificação de vazamento, constante temperature→ Pré-revestimento →Coating→ Aspirar, pressão test→ Limpeza do tubo e Nitrogênio inlet→ Descarga do barco de grafite. - Compatível com o processo SiOxNy PERC. - Tecnologia de vedação de flanges de água de arrefecimento duplo. - Tecnologia patenteada de aquecimento interno. - Mecanismo de empurrar barcos com módulo integral de alta velocidade. - Barco de grafite sem contacto com tubo de quartzo. - Software MES com direito de propriedade intelectual independente. - Sistema CCC desenvolvido de forma independente - Tecnologia de revestimento rápido. - Protecção de alarme para sobreaquecimento, termopar - quebra e colisão de barcos.