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Máquina de deposição PECVD PD-52 seriessolar
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Características
- Método
- PECVD
- Aplicações
- solar
Descrição
Usado principalmente para gerar revestimentos anti-reflexo da mais alta qualidade na produção de células solares de silício cristalino, e para a deposição de película de passivação no lado posterior das células solares.
Barco de grafite & wafers ready→ Nitrogênio inlet→ Carga do barco de grafite in→ Aspirar, teste de pressão →Ammonia pré-limpeza e check→ Aspirar o tubo, verificação de vazamento, constante temperature→ Pré-revestimento →Coating→ Aspirar, pressão test→ Limpeza do tubo e Nitrogênio inlet→ Descarga do barco de grafite.
- Compatível com o processo SiOxNy PERC.
- Tecnologia de vedação de flanges de água de arrefecimento duplo.
- Tecnologia patenteada de aquecimento interno.
- Mecanismo de empurrar barcos com módulo integral de alta velocidade.
- Barco de grafite sem contacto com tubo de quartzo.
- Software MES com direito de propriedade intelectual independente.
- Sistema CCC desenvolvido de forma independente
- Tecnologia de revestimento rápido.
- Protecção de alarme para sobreaquecimento, termopar - quebra e colisão de barcos.
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Horizontal Furnaces Series
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.