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Máquina de deposição ALD PD-520 series
de camadas finas

Máquina de deposição ALD - PD-520 series - S.C New Energy Technology Corporation - de camadas finas
Máquina de deposição ALD - PD-520 series - S.C New Energy Technology Corporation - de camadas finas
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Características

Método
ALD
Tipo de deposição
de camadas finas

Descrição

Deposição de película fina de AlO+SiN. - Processo de deposição de camada atómica, com melhor uniformidade da película. - Película fina multicamada depositada no mesmo equipamento de processo ou no mesmo tubo de forno, reduzindo os passos do processo e a taxa de quebra da bolacha, melhorando efetivamente o rendimento. - I&D independente de fornecimento de vapor de precursor de fonte líquida e tecnologia de comutação rápida de precursor. - Adequado para a deposição da camada de passivação para diferentes precursores e materiais, com um grande espaço para a expansão do processo.

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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