Unidade de tratamento 5500 series

Deposição em linha de filmes finos de baixo custo O sistema SCHMID APCVD oferece a alternativa de menor custo para deposição de filme dielétrico. No sistema de transporte de rolos, apenas o substrato é aquecido durante o processo, portanto, os requisitos de eletricidade e refrigeração são muito reduzidos. Múltiplas cabeças de injeção podem ser usadas em série dentro de um único sistema APCVD. Três camadas de isolamento com baixo consumo de energia reduzem ainda mais as contas de energia. O sistema em linha está disponível em duas configurações: com transporte por correia ou com transporte por rolos. Cada meio de transporte tem as suas vantagens. O comprovado sistema APCVD da SCHMID inclui múltiplos cabeçotes de injeção em série para maximizar o rendimento do processo, uniformidade e flexibilidade, minimizando os custos. A IHM de classe mundial permite que o cliente monitore e controle facilmente todos os parâmetros de processo em um ambiente touchscreen de fácil utilização. O projeto consciente de manutenção permite que os injetores de produtos químicos e os dutos de exaustão sejam limpos enquanto no sistema e sem interrupção significativa do processo. Os conjuntos modulares do cabeçote do injetor de vapor químico permitem instalação e remoção rápidas e fáceis da câmara de revestimento. Todas as peças do cabeçote do injetor são estruturas usinadas de precisão duráveis, garantindo uma entrega química precisa mesmo após uso prolongado. Os sistemas térmicos da SCHMID tornaram-se famosos pela estabilidade do processo, e o sistema APCVD continua esta tradição. O controle de uniformidade de temperatura estável e insuperável garante resultados de processo consistentes. Além disso, os controles de exaustão do processo de precisão e de fluxo precursor garantem resultados de filme consistentes.