A gravura a vácuo forma o componente chave das Novas Opções de Gravura. Para minimizar o efeito de poça, são instaladas lanças de sucção entre os tubos dos bicos que absorvem o meio de gravura usado e o conduzem para o tanque do módulo. Os poderosos sopradores a vácuo geram vácuo constante. Ao contrário das bombas de jacto de água, o vácuo nunca cai - não importa se as lanças de sucção ajustáveis em altura absorvem o meio de gravura usado ou se há fuga de ar. O resultado é uma taxa de gravura absolutamente uniforme e menor consumo de produtos químicos.
Configuração do bocal
Com a configuração optimizada do bico, o sistema SCHMID oferece a máxima flexibilidade porque é capaz de se adaptar a qualquer desenho a ser gravado e de refinar os processos de gravura. Uma distribuição uniforme da pressão nos bicos (até 4 bar de pressão de pulverização) não só melhora o resultado da gravura, como também aumenta a taxa de gravura. Como consequência, o tempo de processo de
a subsequente gravura intermitente é reduzida.
Sistema de transporte optimizado
A colocação optimizada de rolos de discos de transporte dentro do módulo de gravura normalizado representa outra Nova Opção de Gravura. Para além da gravura a vácuo, a concepção e colocação melhorada dos rolos de discos de transporte leva a um melhor comportamento de drenagem da química do processo, diminuindo assim o efeito de poça de forma detectável.
CuCl2 gravura de estruturas particularmente finas com L/S 6
Gravura diferencial uniforme: remoção do cobre 40 μm, StDev 1.6
Aumento da velocidade da gravura até 20%
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