Sistema de posicionamento multieixos

automáticopara a indústria dos semicondutoresalta precisão

Soluções em semicondutores Independente se os seus pedidos estão vindo da frente ou do fundo, somos capazes de lhe propor as soluções personalizadas certas para as suas necessidades desafiadoras. As exigências muito específicas sobre o tempo de desenvolvimento extremamente curto, bem como ramp-ups e ramp-ups de produção são perfeitamente atendidas pela nossa equipe que trabalha com os maiores nomes do mercado SEMI há mais de 25 anos O mundo dos nanómetros de estabilidade e dos tempos de mudança e de instalação é o nosso mundo. Entendemos as suas necessidades da melhor forma e as transformamos em soluções de movimento totalmente integradas. Especificações típicas para "Semicondutores" em POI* Configuração: XYTZ ou + Z Viagem: até 600 x 750mm (450mm Wafer) Precisão: ≤ 1 µm (sobre TIR, mapeado) Repetibilidade: ≤ 0,1 µm Estabilidade: ≤ 2 nm (dentro de 1s ptp) Mover e acalmar: < 100ms para 25mm Velocidade Cst: < 0,01% a <100mm/s Retidão: < 5um sobre TIR Flatness: < 5um sobre TIR