INFORMAÇÃO
O nano RPT é a melhor escolha para aplicações de revestimento AR em um ambiente de resposta rápida de alta qualidade.
A nova e inteligente tecnologia de revestimento garante um tempo de funcionamento e uma homogeneidade muito elevados da espessura da camada. Tempos de processo de menos de 12 minutos por lado podem ser alcançados devido ao desenho do alvo especial e à simulação de processo otimizada por computador. Os alvos são suficientes para alguns milhares de revestimentos. Dois pares de lentes em um lote satisfazem as necessidades do mercado de alta flexibilidade de processo e prazos de entrega curtos. Outros benefícios são os intervalos de manutenção muito longos e o baixo custo de propriedade devido aos baixos requisitos de manutenção.
Como parte do portfólio de máquinas SCHNEIDER, o nano RPT pode ser conectado ao LMS a fim de otimizar o processo para diferentes geometrias de lentes. A conexão ao Centro de Controle SOM garante um monitoramento contínuo do processo.
BENEFÍCIOS
Alta qualidade reprodutível das lentes
Nova tecnologia de plasma reativo
Uniformidade de revestimento repetível
Baixo custo total de propriedade
Fácil de operar
Longos intervalos de manutenção
DADOS TÉCNICOS
vácuo:
pré-vácuo: bomba scroll a seco 15 m3/h
alto vácuo: TMP 450 l/s (N2) levitado magnético
fornecimento de magnetrões:
5 kVA
gases de processo:
Ar, O2, N2
abastecimento de água fria:
2300 W integrado na estrutura da máquina
tempo de processo:
aproximadamente 12 min
capacidade (Ø 50 - 80 mm; 2 - 3 polegadas):
4 lentes/batch
consumo de energia:
5 kVA avg.
necessidade de ar:
min. 6 bar (87 psi)
peso da máquina:
aproximadamente 800 kg (1764 lb.)
dimensões (largura x profundidade x altura):
aprox. 1210 x 900 x 1940 mm (48 x 35 x 76 polegadas)
---