Vidro borossilicato ultra-fino
SCHOTT MEMpax® é um vidro borosilicato com uma superfície polida pelo fogo. Possui características químicas e físicas similares ao produto conhecido
SCHOTT Borofloat® 33.
Ao mesmo tempo, MEMpax® está disponível em espessuras muito mais baixas e oferece uma bolacha fina que já não necessita de ser moída e polida graças à sua excelente qualidade de superfície. O SCHOTT MEMpax® pode ser usado em qualquer lugar em que sejam necessários vidros borossilicato extremamente finos.
O coeficiente de expansão térmica linear do MEMpax® corresponde ao do silício, e este vidro é perfeitamente adequado para uso em colagem anódica. Devido à sua baixa fluorescência automática, excelente qualidade superficial, planicidade e homogeneidade, as possibilidades de aplicação do MEMpax® em sistemas microelectromecânicos (MEMS) e biotecnologia são numerosas.
Vantagens
Sistemas Microelectromecânicos (MEMS)
- O coeficiente de expansão térmica linear corresponde ao do silício
- Indicado para a ligação anódica
- Bolachas de vidro borossilicatado fino sem polimento
- Alta resistência térmica e química
Biotecnologia
- Alta transmissão
- Disponível em várias espessuras
- Baixa autofluorescência
- Excelente qualidade de superfície
Dados técnicos
Dimensões : 2" a 12", redondo ou retangular
Rugosidade da superfície Ra : < 0.5 nm
Espessuras* : 0.1 mm a 0,5 mm
Espessuras padrão* : 0.2 mm, 0,3 mm, 0,4 mm, 0,5 mm
Transmitância luminosa ΤvD65 (espessura = 0,5 mm) : 92,9%
Coeficiente de expansão térmica linear média
α (20 °C; 300 °C) (medição estática) : 3,3 - 10-6 K-1
Temperatura de transformação Tg : 532 °C
Constante dieléctrica εr a 1 MHz : 4,8
Índice de refracção nD (conforme desenho) : 1,4714
Densidade ρ (recozido a 40 °C/h) : 2,22 g/cm3
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