Evaporador por feixes de íons EFM 3

de laboratório

Área de evaporação Ø 5 - 20 milímetros Monitor do fluxo Obturador integrado Traseiro-carregamento de evaporant EFM 3 para VT SPM e para pacotes do LT SPM Um produto do FOCO O EFM 3 é projetado para o crescimento de película fina e a epitaxia de feixe molecular. o Secundário-monolayer e os sistemas multilayer podem ser produzidos com as taxas de evaporação que variam do monolayer 1/10 por o minuto sobre a 1000 por segundo dos monolayers. O Water-cooling assegura a baixa pressão do fundo (tipicamente na escala de 10-10 mbar) durante a evaporação - e permite assim o crescimento de películas ultra-puras. O feixe evaporant precisamente definido permite o depósito altamente uniforme na amostra. A área do depósito é determinada pela escolha de três facilmente aberturas exchangeable diferentes da saída e pela distância da fonte à amostra. Uma parte do feixe evaporant é ionizada. Quando estes íons batem a carcaça, podem criar defeitos na superfície da carcaça e depositar a energia. Para evitar isto o EFM 3 pode opcionalmente ser equipado com um supressor do íon que repila os íons de novo no EFM.