Evaporador por feixes de íons Triple EFM

de processo

Área de evaporação 8.5, 11 e 15 milímetros Distância de funcionamento 93 milímetro (10 milímetros) 3 pilhas/monitores independentes fluxo dos filamentos Nenhuma interferência durante o crescimento composto Traseiro-carregamento dos evaporants Um produto do FOCO Baseado no conceito de projeto dos evaporadores de EFM 3, o EFM triplo caracteriza três pilhas independentes para a evaporação de uma escala larga dos materiais dos fios, das hastes ou dos cadinhos. Cada pilha é equipada com um filamento separado e a fonte da alta tensão para impedir a interferência (300 W cada um). Três monitores independentes do fluxo permitem o crescimento estoiquiométrico controlado dos compostos. O obturador integral da multi-posição permite a dose precisa e a evaporação simultânea ou consecutiva (“abra” posições: 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). A área do depósito é governada pela escolha de uma de três aberturas. Os três alvos da evaporação são montados independente em três 25 milímetros Z-desloc para o alinhamento no que diz respeito ao filamento. Esta característica permite a evaporação das hastes com um instrumento do multi-bolso. Os materiais de alvo podem facilmente ser reenchidos da parte traseira (CF de 3x nanowatt 16).