Capacidade do cadinho 300 cm³ ou 500 cm³
Grande abertura da válvula
Controle de fluxo preciso e muito rápido
Condições de operação de alta pureza
Fácil manuseio e procedimento de reabastecimento
Invólucro de arrefecimento a água integrado
A Fonte de Craqueamento de Arsênico Valvulado foi projetada para o crescimento de alta performance de materiais III-V. É altamente especializada para sublimação As4 ou As2 e combina uma grande capacidade de cadinho de 300 cm³ ou 500 cm³ com um controle de fluxo preciso e rápido. O mecanismo de válvula integrado permite controlar o fluxo numa gama de pressões superior a duas ordens de grandeza. A relação típica on/off é de cerca de quatro ordens de grandeza na leitura da pressão.
Devido à grande abertura da válvula, permite o bombeamento eficiente do reservatório de arsênico na posição de válvula aberta. A unidade de válvula pode ser operada manualmente ou com uma unidade de controlo de válvulas. O invólucro de refrigeração a água integrado e a utilização de materiais selecionados para a célula e a unidade de válvula garantem condições de operação de alta pureza. O modo de funcionamento da fonte pode ser facilmente alterado de As4 para As2 através das condições de funcionamento da unidade de cracking integrada.
---