Especificações
Gama de energia
400 eV a 5 keV (10 eV opcional)
Corrente máx. do feixe
> 10 μA @ 5 keV
> 100 nA @ 15 eV (opção 10 eV)
Diâmetro do feixe
entre 300 μm e 2′′ @ 5 keV
Alinhador Integral de Portas
Sim
Cátodo
Tungsténio revestido com óxido de ítrio
(opcional) Filamento de irídio
Distância de trabalho
30 mm - 300 mm
Profundidade de inserção
173 mm
Pressão da câmara durante a operação
5x10-7 mbar - 1x10-8mbar
Flange de montagem
CF 35 / 2¾′′ OD
Interface Eletrônica
TCP/IP
Controle de software
Software "ProIon" baseado em LabVIEW™
O FDG 15 utiliza a mesma geração comprovada de feixes que o FDG 150 e pode ser usado como um substituto para todas as aplicações onde, por exemplo, a ampla distribuição, mas não mais disponível, ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON) foi usada no passado.
Além disso, o FDG 15 vem com uma óptica de íons mais flexível para ajustar para distâncias de trabalho mais longas e uma estabilização opcional do fluxo de íons.
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