Sensor de fluxo de massa SFM5330

volumétricode arOEM

Sensor de caudal digital, rápido, configurável e de alta precisão para OEM Especificação Caudal mássico Caudal à escala real - 1, 2 e 5 - slm - Caudal à escala completa - 50, 100, 200 e 500 - sccm - Precisão - 0,2%FS ou 2% SP - - Pressão máxima de funcionamento - 10 - bar - - Calibração - Ar, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 e C4F8 - caudal - Conectores fluídicos - Downmount - - Genérico Tensão de alimentação - 14 - 26,4 - V - Corrente média de alimentação - 50000 - uA - Corrente máxima de alimentação - 320000 - uA - Interfaces - RS485 - - Tamanho (CxLxA) - 34 x 25 x 62,2 - mm³