Stepper NPS300

Orientado para a I&D avançada e para a linha piloto, o NPS300 é um Stepper de alta precisão e alta força concebido para nano-impressão. Optimizado para a replicação de nanoestruturas com uma precisão de ± 0,5 μm, o NPS300 é a primeira ferramenta capaz de combinar litografia de gravação a quente alinhada e UV-NIL numa mesma plataforma. A NPS300 é capaz de imprimir geometrias inferiores a 20 nm com uma precisão de sobreposição de 250 nm. A sua arquitetura flexível oferece uma excelente reprodutibilidade do processo e uma capacidade única de modelar grandes áreas, num modo sequencial Step & Repeat em wafers até 300 mm. Permite o fabrico a baixo custo de carimbos de grandes dimensões com padrões repetidos. - Precisão de ± 0,5 μm - Modo Step & Repeat em bolacha até 300 mm - Recolha automática de carimbos - Tecnologia de rolamento de ar e estrutura de granito que garante estabilidade e fiabilidade a longo prazo - Controlo do paralelismo para garantir uma precisão muito elevada, mesmo sob forças elevadas - Calibração manual ou totalmente automatizada - Ciclo automático e independente do operador - Elevado rendimento graças a uma conceção rígida - Registo de processos para desenvolvimento, ficheiros de registo para acompanhar a produção