Fonte de alimentação elétrica CC/CC HEM

ISOmodularde alta tensão

A série HEM de fontes de alimentação de alta tensão Wisman é uma fonte de alimentação de alta tensão multi-saída abrangente dedicada à focalização de feixes de iões. As aplicações típicas incluem microscopia eletrónica de transmissão e de varrimento; análise de semicondutores, fresagem e reparação de cabeças de acionamento ótico, iões; gravação de feixes e litografia de feixes de iões focalizados. O método de conceção modular permite que os componentes individuais sejam facilmente configurados e montados num grande chassis num bastidor comum. Os circuitos de interface, lógica e controlo são de tecnologia de montagem em superfície para minimizar o custo e o tamanho. Integra fonte de alimentação de aceleração, fonte de alimentação de filamento, absorve energia polar, inibe a energia polar e a energia da lente. Ondulação de saída ultra-baixa, excelente taxa de ajuste, estabilidade, desvio de temperatura e precisão. Suspensão de alta tensão patenteada e tecnologia de controlo digital. A série HEM de módulos de alta precisão tem um preço competitivo e é ideal para aplicações OEM. APLICAÇÃO TÍPICA Microscópio eletrónico de varrimento de transmissão Microscópio eletrónico de varrimento Análise de semicondutores Processamento e reparação Gravura por feixe de iões Litografia por feixe de iões focalizados Ondulação 2ppm ESPECIFICAÇÃO Potência do acelerador Ondulação: 70 mV P-P, de 0,1 Hz a 1MHZ Regulação de linha: variação de entrada + / -10% para 100mV Regulação de carga: ± 0,01%, tensão máxima, variação de carga total Estabilidade: após 2 horas de aquecimento, 1,5V/10 horas Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C Potência do extrator Ondulação: 30 mV P-P, de 0,1 Hz a 1 MHZ, abaixo de 30μA Regulação de linha: a variação de entrada + / -10% é de 100mV Regulação de carga: ± 0,01%, tensão máxima, variação de carga total Estabilidade: Após pré-aquecimento durante 2 horas, 500mV/10 horas Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C